Contribution à l'intégration de centrales inertielles : outils d'aide à la conception et à l'optimisation

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Sous la direction de Claude Pellet, Renaud Briand Thèse soutenue le 24 novembre 2008: Bordeaux 1 Le travail présenté dans ce mémoire concerne la réalisation d'un microsystème intégrant une centrale inertielle permettant la détection de mouvements. Le microsystème étudié est composé d'un accéléromètre capacitif associé à son électronique de traitement. L'accéléromètre capacitif a conduit à l'élaboration d'un outil logiciel afin de le pré-dimensionner. Ce pré-dimensionnement a été effectué en fonction des spécifications de l'application et de la technologie de fabrication. Cet outil intègre des modèles fluidiques et électrostatiques en vue de calculer des paramètres du modèle de l'accéléromètre pour une simulation système. L'électronique de traitement de l'accéléromètre capacitif a été conçue autour d'un convertisseur "Sigma-Delta". L'architecture "Sigma-Delta" a nécessité des modifications pour pouvoir être adaptée au capteur. Nous avons alors développé, sous "Matlab-Simulink", une bibliothèque de composants permettant d'ajuster le fonctionnement du convertisseur. Une fois l'architecture optimisée et les caractéristiques des composants connues, la conception de l'architecture "Sigma-Delta" est ainsi réalisable sous le logiciel CADENCE. -Microsystème -Micro-capteur -MEMS -Sigma Delta -Matlab-simulink -Accélèrometre -Basse tension The aim of this thesis is the realisation of microsystem for movements detection. This microsystem is composed of capacitive accelerometers and of their electronics. The conception of capacitive accelerometers has induced developement of a software for the first dimensionnement of sensors. This software computes parameters of capacitive accelerometers thanks to electrostatic models, flow models, specifications of application and fabrication process. The electronics of capacitive accelerometer is a "Sigma-Delta" convertor. The adaptation of convertor leads to developement of components libraries for "Matlab-Simulink". The simulation systems al

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